Obiettivo del tubo di titanio

Bersaglio a tubo in titanio composto da elemento in titanio Simbolo Ti, numero atomico 22, densità 4,454 g/Cm3, proprietà fisiche: punto di fusione 1668C℃, punto di ebollizione 3262°C, capacità termica specifica 0,52 (J/(Kg·K), calore di evaporazione 421 (KJ/Mol), calore di fusione 15,45 (KJ/Mol), Conducibilità 0,0234 (106/Cm).

A causa dell'elevato costo del titanio ad elevata purezza, il campo di applicazione del target del tubo in titanio è estremamente limitato, utilizzato principalmente come materiali semiconduttori e materiali di aspirazione in dispositivi a vuoto ultra alto.

Il titanio ad alta purezza ha la capacità di assorbire i gas idrogeno, CH4 e Co2, quindi può essere ampiamente utilizzato nei sistemi ad alto vuoto e ultra alto vuoto. Quando si realizza una rete di circuiti LSI, VLSI e ULSI sputtering il titanio ad alta purezza prodotto da Zhongkano può rendono queste parti integrate estremamente leggere, sottili, di piccole dimensioni e circuito denso. I bersagli per tubi in titanio ad alta purezza possono essere utilizzati anche come materiali metallici di barriera.

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